ALIO 系列精密定位平台
国科东方代理美国ALIO公司精密定位平台系列产品，欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。
美国ALIO公司的高科技精密平台产品，采用压电陶瓷马达，直线和旋转运动达到纳米级的精密定位。产品特点：高分辨率（5nm）、高精度、行程大、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境（大气、真空）。
产品分类如下:
真空系统应用平台
提供适用两种真空度（10e-7托或10e-10 托）的精密平台， 最高工作温度为100度，最高烘培温度为135度。 |
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直线定位平台参数（真空型）
行程 12 mm to 400 mm
负载力 3.5 N to 70.4 N
分辨率 5 nm,10 nm,20nm,50nm,100nm,500nm, 1 micron, and 5 micron
重复性 分辨率的2- 3倍（取决于运动参数）
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回转定位平台参数（真空型）
旋转角度 360度
重复性 分辨率的2- 3倍（取决于运动参数）
精度 1 arc sec to 5 arc sec |
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6维并联结构平台
运动空间 10 mm cube to 100 mm cube
分辨率 5 nm
重复性 50 nm at tool center point
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